يعتبر NF3 أكثر كفاءة وصديقًا للبيئة من الغازات التقليدية مثل سداسي فلوريد الكبريت (SF6). فهو قادر على التحلل إلى النيتروجين والفلور، مما يقلل من مخاوف الغازات المسببة للاحتباس الحراري مقارنة بالبدائل.
| الاسم الكيميائي | ملكية | نقاء | معلمات حزمة التوريد
(أقل من 21.1 درجة مئوية) |
|||
| صمام | سعة (ل) |
ضغط
(رطل/بوصة مربعة) |
الغاز مقدار |
|||
| ثلاثي فلوريد النيتروجين | غاز عديم اللون والرائحة | 99.995% | سي جي ايه 330/ديسس-640 | 44 | 1450 | 18 كجم |
يستخدم كغاز تنظيف في تصنيع أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة. وهو ضروري لتنظيف غرف الترسيب الكيميائي للبخار (CVD).
يتم استخدامه في إنتاج الألواح الشمسية لعمليات التنظيف
مادة أولية للمركبات المحتوية على الفلور
يوفر مصدرًا للفلور التفاعلي في الحفر البلازمي للإلكترونيات الدقيقة.
