NF3 je účinnější a šetrnější k životnímu prostředí než tradiční plyny, jako je fluorid sírový (SF6). Může se rozkládat na dusík a fluor, což snižuje obavy o skleníkové plyny ve srovnání s alternativami.
| Chemický název | Vlastnictví | Čistota | Parametry dodávky
(pod 21,1℃) |
|||
| Ventil | Kapacita (L) |
Tlak
(psig) |
Plyn Objem |
|||
| Fluorid dusíku | bezbarvý plyn bez zápachu | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18 kg |
Používá se jako čisticí plyn při výrobě polovodičů a plochých displejů. Nezbytné pro čištění komor pro chemické nanášení par (CVD).
Používá se při výrobě solárních panelů pro čisticí procesy
Prekurzor pro sloučeniny obsahující fluor
Poskytuje zdroj reaktivního fluoru při plazmovém leptání pro mikroelektroniku.
