Le NF3 est plus efficace et plus respectueux de l'environnement que les gaz traditionnels comme l'hexafluorure de soufre (SF6). Il peut se décomposer en azote et en fluor, réduisant ainsi les risques de gaz à effet de serre par rapport aux autres gaz.
| Nom chimique | Propriété | Pureté | Paramètres du package d'approvisionnement
(Moins de 21,1 ℃) |
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| Soupape | Capacité (L) |
Pression
(psig) |
Gaz Volume |
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| Trifluorure d'azote | gaz incolore et inodore | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18 kg |
Utilisé comme gaz de nettoyage dans la fabrication de semi-conducteurs et d'écrans plats. Indispensable pour le nettoyage des chambres de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Appliqué dans la production de panneaux solaires pour les processus de nettoyage
Précurseur de composés contenant du fluor
Fournit une source de fluor réactif dans la gravure au plasma pour la microélectronique.
