NF3 jest bardziej wydajny i przyjazny dla środowiska niż tradycyjne gazy, takie jak sześciofluorek siarki (SF6). Może rozkładać się na azot i fluor, co zmniejsza obawy dotyczące gazów cieplarnianych w porównaniu z alternatywami.
| Nazwa chemiczna | Nieruchomość | Czystość | Parametry pakietu dostaw
(Poniżej 21,1℃) |
|||
| Zawór | Pojemność (L) |
Ciśnienie
(psi) |
Gaz Tom |
|||
| Fluorek azotu | bezbarwny, bezwonny gaz | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18kg |
Stosowany jako gaz czyszczący w produkcji półprzewodników i wyświetlaczy płaskich. Niezbędny do czyszczenia komór osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD).
Stosowany w produkcji paneli słonecznych do procesów czyszczących
Prekursor związków zawierających fluor
Stanowi źródło reaktywnego fluoru w procesie trawienia plazmowego w mikroelektronice.
