Гексафторэтан (C2F6) относится к семейству перфторуглеродов (PFC). Он широко используется в различных промышленных и технологических приложениях благодаря своей стабильности и инертности.
Химическое название | Свойство | Чистота | Параметры пакета поставки
(ниже 21,1℃) |
|||
Клапан | Емкость (Л) |
Давление
(фунт/кв. дюйм изб.) |
Газ Объем |
|||
Гексафторэтан | Бесцветный, без запаха, негорючий | 99.999% | CGA660/ДИСС-716 | 44 | 430 | 30кг |
Гексафторэтан играет важную роль в качестве рабочего газа плазменного травления в развитии микроэлектронной промышленности и является необходимой средой при обработке сверхбольших интегральных схем.
Иногда используется в качестве хладагента или компонента в специализированных смесях хладагентов.
Действует как калибровочный газ для аналитических приборов и испытаний окружающей среды.